0.2mm錫球激光噴射焊接晶圓案例

晶圓，這個(gè)在科技領(lǐng)域中占據(jù)重要地位的微小物質(zhì)，其應(yīng)用早已滲透到我們生活的方方面面。隨著科技的不斷發(fā)展，晶圓的應(yīng)用范圍也在持續(xù)擴(kuò)大，展現(xiàn)出更加廣闊的前景。以下是一個(gè)晶圓激光植球焊接的方案，該方案主要包括激光植球的設(shè)備選擇、工藝流程以及關(guān)鍵控制點(diǎn)等方面：

一、設(shè)備選擇

選用光纖激光器作為植球熱源，其具有電光轉(zhuǎn)換效率高、能量穩(wěn)定的特點(diǎn)。同時(shí)，配備 CCD 相機(jī)定位系統(tǒng)，以保證植球精度。

二、工藝流程

1. 準(zhǔn)備晶圓：確保晶圓表面清潔、無(wú)雜質(zhì)，焊盤(pán)位置準(zhǔn)確。

2. 錫球準(zhǔn)備：選擇合適規(guī)格（如 0.07mm~0.2mm）的 Sn-Ag-Cu、Sn-Bi-Ag 等常用材質(zhì)錫球。

3. 激光定位：通過(guò) CCD 相機(jī)定位系統(tǒng)，精確確定晶圓上需要植球的焊盤(pán)位置。

4. 激光加熱植球：

? 激光器發(fā)射紅外光，瞬間加熱錫球至熔融狀態(tài)。

? 利用氮?dú)鈱⑷刍蟮腻a球吹落至焊盤(pán)上。

5. 冷卻凝固：錫球在焊盤(pán)上冷卻后，與焊盤(pán)形成良好的焊接。

三、關(guān)鍵控制點(diǎn)

1. 激光能量控制：確保激光能量穩(wěn)定，以精確控制錫球的熔融程度，避免過(guò)度或不足加熱。

2. 植球位置精度：依靠高精度的 CCD 相機(jī)定位系統(tǒng)，準(zhǔn)確將錫球放置在焊盤(pán)上。

3. 錫球質(zhì)量：選擇質(zhì)量穩(wěn)定、尺寸均勻的錫球，以保證植球的一致性。

4. 氮?dú)獗Ｗo(hù)：氮?dú)獾牧髁亢蛪毫σm當(dāng)，既保證錫球的順利吹落，又防止氧化。

5. 工藝參數(shù)優(yōu)化：針對(duì)不同的晶圓和錫球規(guī)格，通過(guò)試驗(yàn)確定**的激光功率、加熱時(shí)間、氮?dú)鈮毫Φ裙に噮?shù)。

在實(shí)際操作中，還需要注意以下幾點(diǎn)：

1. 保持工作環(huán)境的清潔，避免灰塵等雜質(zhì)對(duì)植球質(zhì)量產(chǎn)生影響。

2. 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和校準(zhǔn)，確保其性能穩(wěn)定。

3. 對(duì)植球后的晶圓進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，如檢查焊點(diǎn)的外觀、焊接強(qiáng)度等，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決可能存在的問(wèn)題。

激光植球方式具有錫球內(nèi)不含助焊劑、激光加熱熔融后不會(huì)造成飛濺、凝固后飽滿(mǎn)圓滑、對(duì)焊盤(pán)不存在后續(xù)清洗或表面處理等附加工序、錫量恒定、分球焊接速度快且精度高、熱影響小、符合綠色智造理念等優(yōu)勢(shì)。但具體的方案可能需要根據(jù)實(shí)際的生產(chǎn)需求、設(shè)備性能以及晶圓和錫球的特性進(jìn)行調(diào)整和優(yōu)化。